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Gerne erstellen wir Ihnen ein unverbindliches Angebot. Bitte benutzen Sie unseren Kristallkonfigurator oder unser Anfrageformular. |
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Einkristalline Substrate zeichnen sich durch die Abwesenheit von Korngrenzen, eine durchgängig geordnete Kristallstruktur und hohe Reinheit aus. Damit sind sie prädestiniert für die Nutzung als Einkristall zur Untersuchung von Grundlageneffekten oder als Substrat zur Abscheidung von dünnen Schichten. Für alle Anwendungen ist die Qualität der Kristallstruktur und die möglichst perfekte Ausbildung von atomar glatten Terrassen auf den Oberflächen essentiell. |
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Die Standardorientierungen sind bei kubischen Substraten (111), (110) und (100) und bei hexagonalen Kristallen (0001), (1010) und (1120). Gerne bieten wir auch andere Orientierungen auf ANFRAGE an. Die Genauigkeit der Orientierung von Substratoberflächen liegt standardmäßig bei < 0.5°. Auf Wunsch ist auch eine Orientierungsgenauigkeit <0.1° möglich. Gerne führen wir auch eine einseitige oder beidseitige Politur mit EPI-Qualität durch, um eine Beschichtung mit guter Haftung zu gewährleisten. |
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Die typische Dicke für Substrate beträgt 0.5 – 1.0 mm bei Abmessungen 5 x 5 mm bis 10 x 10 mm bzw Ø 5 – 10 mm Durchmesser bei runden Substraten. | ![]() |
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Neben unseren einkristallinen Substraten bieten wir auch STO auf Si Substraten an. Hierbei handelt es sich um eine 4nm dicke epitaktisch aufgewachsene SrTiO3-Schicht auf einem (001) orientierten und 725μm Silizium-Substrat. | ![]() |
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Untenstehend finden Sie einige Beispiele der von MaTecK angebotenen einkristallinen Substrate. Sollten Sie zusätzliche oder abweichende Anforderungen haben, senden Sie uns gern eine ANFRAGE. |
Crystal | Structure | M.P. [°C] | Dielectric constant | Growth Technique | Info |
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Al2O3 Sapphire |
Hexag.
a=4.77Å
c=13.04Å
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2040 |
9.0/11.5
parallel/perpendicular
C-axis
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CZ | ? |
LaAlO3 | Rhombo a=3.790Å c=13.11Å |
2100 | 24.5 | CZ ø2" |
? |
Th: LaAlO3 |
Cubic a=7.57Å |
2080 | 24.0 | CZ ø30mm |
? |
MgO | Cubic | 2800 | 10 | ? | ? |
NdCaAlO4 | Tetrag. a=3.685Å c=12.12Å |
1850 | 19.5 | CZ ø30mm |
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NdGaO3 | Orthor. a=5.43Å b=5.50Å c=7.71Å |
1600 | 25 | CZ ø2" |
? |
SrLaAlO4 | Tetrag. a=3.756Å c=12.63Å |
1650 | 16.8 | CZ ø20mm |
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SrTiO3 | Cubic a=3.90Å |
2080 | 300 | Verneuil ø20mm |
? |
YAlO3 | Orthog. a=5.176Å b=5.307Å c=7.355Å |
1870 | 16`20 | CZ ø30mm |
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YSZ | Cubic a=5.41Å |
~2500 | 27 | Flux | ? |
Material | SrTiO3 | MgO | Al2O3 | YSZ | Nb:SrTiO3 | |||||||||||||||||||||
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Dimensions (mm) | 10 x 10 x 0.5 | 10 x 10 x 0.5 | 10 x 10 x 0.5 | 10 x 10 x 0.5 | 10 x 10 x 0.5 | |||||||||||||||||||||
Surface Orientation | (100) ± 1° | (100) ± 1° | (1012) ± 1° | (100) ± 1° | (100) ± 1° | |||||||||||||||||||||
Surface Finish | one side polished | |||||||||||||||||||||||||
Junction Angle | 24° ± 1° 36.8° ± 1° |
24° ± 1° | 24° ± 1° | 24° ± 1° 36.8° ± 1° |
24° ± 1° 36.8° ± 1° |
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Flatness | l/4 | l/4 | l/2 | l/4 | l/4 | |||||||||||||||||||||
Surface Roughness | Ra 10Å, Rmax 30Å |
Ra 10Å, Rmax 50Å |
Ra 10Å, Rmax 50Å |
Ra 10Å, Rmax 30Å |
Ra 10Å, Rmax 30Å |
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Crystal Structure | cubic | cubic | hexagonal | cubic | cubic | |||||||||||||||||||||
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Phase Transition | tetragonal< 110K |
tetragonal< 110K |
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Dielectric Constant (e) | 310 | 10 | 9 | 27 | 310 | |||||||||||||||||||||
Coefficient of Expansion (10-6/°C) | 11.1 | 14.2 | 7.5 | 10.3 | 11.1 | |||||||||||||||||||||
Melting Point (°C) | 2080 | 2800 | 2030 | 2500 | 2080 |